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製品紹介-グラナイトエアーベアリングステージ

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グラナイトエアーベアリングステージとは?

グラナイトエアーベアリングステージとは、エアーベアリングステージの素材にグラナイト(御影石)を用い、シャフトモーターによって駆動する、クリーンルーム対応の完全非接触構造の一軸テーブルです。組み合わせでX-Yテーブルとして使うことも可能です。

グラナイトエアーベアリングステージの特長

  1. 驚異の低速度むらを実現
  2. オーバーシュートの無い高速の立上り
  3. 完全非接触
  4. 経年変化が全くない
  5. グラナイトを直接エアースライドとして利用
  6. シャフトモーター駆動

商品一覧

ピコメーターシリーズ

位置決め分解能(nm) 繰り返し位置決め精度(nm) 水平真直度(μm) 垂直真直度(μm) 速度ムラ(%) 最高速度(mm/sec) 最大荷重(kg) 使用モーター 指令形式
0.07 0.63 0.5 0.3 0.05 1 50 S160T×2 コントローラー標準装備
0.07 0.63 0.5 0.3 0.05 1 50 S160T×2 コントローラー標準装備
0.14 0.98 0.5 0.3 0.05 3 50 S160T×2 コントローラー標準装備
0.14 0.98 0.5 0.3 0.05 3 50 S160T×2 コントローラー標準装備

ナノシリーズ

位置決め分解能(nm) 繰り返し位置決め精度(nm) 水平真直度(μm) 垂直真直度(μm) 速度ムラ(%) 最高速度(mm/sec) 最大荷重(kg) 使用モーター 指令形式
1 5 1 0.5 0.05 15 50 S160T×2 コントローラー標準装備
1 5 1 0.5 0.05 15 50 S160T×2 コントローラー標準装備
1 5 1 0.5 0.05 15 50 S160T×2 コントローラー標準装備

10ナノシリーズ

位置決め分解能(nm) 繰り返し位置決め精度(nm) 水平真直度(μm) 垂直真直度(μm) 速度ムラ(%) 最高速度(mm/sec) 最大荷重(kg) 使用モーター 指令形式
10 20 2 1 0.05 150 50 S320D パルス
10 20 2 1 0.05 150 50 S320D パルス
10 20 2 1 0.05 150 50 S320D パルス

XYステージ

ピコメーターシリーズ

型式 X軸ストローク(mm) Y軸ストローク(mm) 位置決め分解能(nm) X軸最高速度(mm/sec) Y軸最高速度(mm/sec) 最大荷重(kg) X軸使用モーター Y軸使用モーター 指令形式
GTEX2525 240 240 0.07 1 1 30 S160T×2 S160T×2 コントローラー標準装備
GTEX3535 350 350 0.07 1 1 30 S160T×2 S160T×2 コントローラー標準装備
GTXX2525 240 240 0.14 3 3 30 S160T×2 S160T×2 コントローラー標準装備
GTXX3535 350 350 0.14 3 3 30 S160T×2 S160T×2 コントローラー標準装備

ナノシリーズ

型式 X軸ストローク(mm) Y軸ストローク(mm) 位置決め分解能(nm) X軸最高速度(mm/sec) Y軸最高速度(mm/sec) 最大荷重(kg) X軸使用モーター Y軸使用モーター 指令形式
GTX2525 240 240 1 15 15 30 S160T×2 S160T×2 コントローラー標準装備
GTX3535 350 350 1 15 15 30 S160T×2 S160T×2 コントローラー標準装備
GTX2545 240 410 1 15 15 30 S160T×2 S160T×2 コントローラー標準装備
GTX3545 350 410 1 15 15 30 S160T×2 S160T×2 コントローラー標準装備

10ナノシリーズ

型式 X軸ストローク(mm) Y軸ストローク(mm) 位置決め分解能(nm) X軸最高速度(mm/sec) Y軸最高速度(mm/sec) 最大荷重(kg) X軸使用モーター Y軸使用モーター 指令形式
GTS2525 240 240 10 150 150 30 S320D S320D パルス
GTS3535 350 350 10 150 150 30 S320D S320D パルス
GTS2545 240 410 10 150 150 30 S320D S320T パルス
GTS3545 350 410 10 150 150 30 S320D S320T パルス

大型ディスプレイパネル用テーブル

液晶用

型式 ストローク(mm) 最小指令単位(μm) 繰返位置決精度(μm) 水平真直度(μm) 垂直真直度(μm) 速度ムラ(%) 最高速度(mm/sec) 最大荷重(kg) 最大化速度(G) 立ち上がり時間(msec) 仕様モーター 瞬時最大推力(N) テーブルサイズ(mm) 外径寸法(L×W×Hmm)
LDP-1500 1500 0.5 +-1.5 5 3 0.1 2000 100 0.3 400 S427T×2 1400 860×1050 2400×1000×700
LDV-1500 1500 0.1 +-0.3 5 3 0.1 1000 100 0.3 200 S427T×2 1400 860×1050 2400×1000×700

PDP用

型式 ストローク(mm) 最小指令単位(μm) 繰返位置決精度(μm) 水平真直度(μm) 垂直真直度(μm) 速度ムラ(%) 最高速度(mm/sec) 最大荷重(kg) 最大化速度(G) 立ち上がり時間(msec) 仕様モーター 瞬時最大推力(N) テーブルサイズ(mm) 外径寸法(L×W×Hmm)
PDP-1500 1500 0.5 +-1.5 5 3 0.1 1500 100 0.3 300 S427Q×2 4000 1420×1420 3200×1700×800
PDV-1500 1500 0.1 +-0.3 5 3 0.1 1000 100 0.3 200 S427Q×2 4000 1420×1420 3200×1700×800